QMG 700 分析質(zhì)譜儀 

超越檢測(cè)極限且達(dá)到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細(xì)微的分辨率 

半導(dǎo)體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒?yàn)室中，選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測(cè)極限，推動(dòng)工藝革新，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設(shè)計(jì)帶來無可比擬的性能和適應(yīng)性。利用 QMG 700 增強(qiáng)競(jìng)爭優(yōu)勢(shì)，獲得出眾的測(cè)量能力。

根據(jù)具體的應(yīng)用要求，選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)測(cè)量量程，達(dá)到ppb 檢測(cè)量級(jí)，這種優(yōu)勢(shì)使其成為超高真空測(cè)量的理想選擇。QMG 700 對(duì)整個(gè)質(zhì)量范圍都有很高的分辨率，對(duì)較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對(duì)于某些非常具挑戰(zhàn)性的測(cè)量應(yīng)用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是極好的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關(guān)鍵性的測(cè)量，有效控制您的工藝。

INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和遙遙率先的技術(shù)，確保QMG 700 成為進(jìn)行 氣體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽(yù)世界的應(yīng)用專長，您可獲得始終如一的高精度測(cè)量數(shù)據(jù)。

功能

• 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
• 超過九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
• 極快的測(cè)量速度：0.125 ms/amu
• MDPP < 10E-16 mbar

• 涵蓋整個(gè)質(zhì)量范圍的高分辨率：質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)清晰地分離

• 超過 10 個(gè)不同的離子源和離子光學(xué)組合
• 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
• 用于正負(fù)離子以及中性粒子分析的離子計(jì)數(shù)前置放大器
• IO 選項(xiàng)：8 個(gè)模擬輸入/輸出和 32 個(gè)數(shù)字輸入/輸出
• 軟件功能強(qiáng)大，靈活實(shí)用且具友好的用戶界面

• QMG 700 分析質(zhì)譜儀 (AMS) 是適合以下應(yīng)用的成熟解決方案：氣體排放質(zhì)譜分析，終點(diǎn)檢測(cè)，沉積材料監(jiān)控，二次離子質(zhì)譜分析